SITIME晶振微機電系統(MEMS)kHz振蕩器是極小的低功耗32kHz器件,針對移動和其他電池供電應用進行了優化.硅MEMS技術實現了超小尺寸和芯片級封裝.這些器件可實現更大的元件布局靈活性,并消除了外部負載電容,從而節省了額外的元件數量和電路板空間.SiTime采用NanoDrive™技術,這是一種工廠可編程輸出,可降低電壓擺幅,從而最大限度地降低功耗.還提供TempFlatMEMS™技術,該技術可在1.2mmx1.2mm的封裝內實現首個32kHz±3百萬分之一(ppm)超級TCXO.SiTime的MEMS振蕩器包括一個MEMS諧振器和一個可編程模擬電路.kHzMEMS諧振器采用SiTime獨特的MEMSFirst™工藝.關鍵制造步驟是EpiSeal™,在此期間MEMS諧振器的退火溫度超過+1000°C.EpiSeal創造了一個極其牢固,干凈的真空室來封裝MEMS諧振器,可確保最佳的性能和可靠性
MEMS振蕩器提供低功耗,小尺寸,高性能和物理穩健性的有吸引力的組合,使其成為眾多應用的理想選擇,特別是在便攜式和可穿戴電子產品中. 他們利用標準半導體制造和封裝方法的能力意味著他們的成本和性能將繼續提高,確保他們將繼續進入傳統上保留用于石英晶振和陶瓷諧振器的應用.該電子振蕩器產生具有精確頻率的輸出以產生定時脈沖并同步事件.基于微機電系統(MEMS)技術的振蕩器將精確的頻率生成與低功耗相結合,并且在時鐘電路中變得越來越流行.本文深圳康比電子將介紹MEMS技術,MEMS振蕩器以及為什么它們在便攜式和非便攜式應用中取代更傳統的解決方案.
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